ইঞ্জিন প্রেসার সেন্সর 2 সিপি 3-68 1946725 কার্টার খননকারীর জন্য

একটি চাপ সেন্সর প্রস্তুত করার জন্য একটি পদ্ধতি, নিম্নলিখিত পদক্ষেপগুলি সমন্বিত করে বৈশিষ্ট্যযুক্ত:

এস 1, একটি পিছনের পৃষ্ঠ এবং সামনের পৃষ্ঠের সাথে একটি ওয়েফার সরবরাহ করে; ওয়েফারের সামনের পৃষ্ঠে একটি পাইজোরসিস্টিভ স্ট্রিপ এবং একটি ভারী ডোপড যোগাযোগের অঞ্চল গঠন; ওয়েফারের পিছনের পৃষ্ঠটি এচিং করে একটি চাপ গভীর গহ্বর গঠন;

এস 2, ওয়েফারের পিছনে একটি সমর্থন শীট বন্ধন;

এস 3, ওয়েফারের সামনের দিকে সীসা গর্ত এবং ধাতব তারগুলি উত্পাদন করে এবং পাইজোরসিস্টিভ স্ট্রিপগুলিকে সংযুক্ত করে একটি গমস্টোন ব্রিজ গঠনের জন্য;

এস 4, ওয়েফারের সামনের পৃষ্ঠে একটি প্যাসিভেশন স্তর জমা এবং গঠন এবং ধাতব প্যাড অঞ্চল গঠনের জন্য প্যাসিভেশন স্তরটির অংশ খোলার। 2। দাবি 1 অনুসারে চাপ সেন্সরের উত্পাদন পদ্ধতি, যেখানে এস 1 বিশেষত নিম্নলিখিত পদক্ষেপগুলি নিয়ে গঠিত: এস 11: একটি পিছনের পৃষ্ঠ এবং সামনের পৃষ্ঠের সাথে একটি ওয়েফার সরবরাহ করা এবং ওয়েফারে একটি চাপ সংবেদনশীল ফিল্মের বেধ সংজ্ঞায়িত করা; এস 12: আয়ন ইমপ্লান্টেশন ওয়েফারের সামনের পৃষ্ঠে ব্যবহৃত হয়, পাইজোরসিস্টিভ স্ট্রিপগুলি একটি উচ্চ-তাপমাত্রার বিস্তৃতি প্রক্রিয়া দ্বারা উত্পাদিত হয় এবং যোগাযোগের অঞ্চলগুলি ভারীভাবে ডোপড হয়; এস 13: ওয়েফারের সামনের পৃষ্ঠে একটি প্রতিরক্ষামূলক স্তর জমা এবং গঠন; এস 14: একটি চাপ সংবেদনশীল ফিল্ম গঠনের জন্য ওয়েফারের পিছনে একটি চাপ গভীর গহ্বর গঠন এবং গঠন করা। 3। দাবি 1 অনুসারে চাপ সেন্সরের উত্পাদন পদ্ধতি, যেখানে ওয়েফারটি এসওআই।

1962 সালে, টুফ্ট এট আল। প্রথমবারের জন্য বিচ্ছুরিত সিলিকন পাইজোরসিস্টিভ স্ট্রিপস এবং সিলিকন ফিল্ম স্ট্রাকচার সহ একটি পাইজোরসিস্টিভ প্রেসার সেন্সর তৈরি করেছেন এবং পাইজোরসিস্টিভ প্রেসার সেন্সর সম্পর্কিত গবেষণা শুরু করেছিলেন। ১৯60০ এর দশকের শেষের দিকে এবং ১৯ 1970০ এর দশকের গোড়ার দিকে, সিলিকন অ্যানিসোট্রপিক এচিং প্রযুক্তি, আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রযুক্তি এবং অ্যানোডিক বন্ডিং প্রযুক্তির তিনটি প্রযুক্তির উপস্থিতি চাপ সেন্সরে দুর্দান্ত পরিবর্তন এনেছে, যা চাপ সেন্সরের কার্যকারিতা উন্নত করতে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করেছিল। ১৯৮০ এর দশক থেকে, মাইক্রোমাচাইনিং প্রযুক্তির আরও বিকাশের সাথে যেমন অ্যানিসোট্রপিক এচিং, লিথোগ্রাফি, প্রসারণ ডোপিং, আয়ন ইমপ্লান্টেশন, বন্ধন এবং লেপ, চাপ সেন্সরের আকার ক্রমাগত হ্রাস করা হয়েছে, সংবেদনশীলতা উন্নত হয়েছে, এবং আউটপুট উচ্চতর এবং পারফরম্যান্স দুর্দান্ত। একই সময়ে, নতুন মাইক্রোমাচাইনিং প্রযুক্তির বিকাশ এবং প্রয়োগ ফিল্মের বেধ চাপ সেন্সরের সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করে।