কার্টার খননের জন্য ইঞ্জিন চাপ সেন্সর 2CP3-68 1946725

একটি চাপ সেন্সর প্রস্তুত করার একটি পদ্ধতি, নিম্নলিখিত পদক্ষেপগুলি অন্তর্ভুক্ত করে চিহ্নিত করা হয়েছে:

S1, একটি পিছনে পৃষ্ঠ এবং একটি সামনে পৃষ্ঠ সঙ্গে একটি ওয়েফার প্রদান;ওয়েফারের সামনের পৃষ্ঠে একটি পাইজোরেসিটিভ স্ট্রিপ এবং একটি ভারীভাবে ডোপড যোগাযোগের ক্ষেত্র তৈরি করা;ওয়েফারের পিছনের পৃষ্ঠে খোদাই করে একটি চাপ গভীর গহ্বর তৈরি করা;

S2, ওয়েফারের পিছনে একটি সমর্থন শীট বন্ধন;

S3, ওয়েফারের সামনের দিকে সীসার ছিদ্র এবং ধাতব তার তৈরি করা এবং পিজোরেসিস্টিভ স্ট্রিপগুলিকে সংযুক্ত করে একটি হুইটস্টোন সেতু তৈরি করা;

S4, ওয়েফারের সামনের পৃষ্ঠে একটি প্যাসিভেশন স্তর জমা করা এবং গঠন করা এবং একটি ধাতব প্যাড এলাকা তৈরি করার জন্য প্যাসিভেশন স্তরের অংশ খোলা।2. দাবি 1 অনুযায়ী চাপ সেন্সরের উত্পাদন পদ্ধতি, যেখানে S1 বিশেষভাবে নিম্নলিখিত পদক্ষেপগুলি নিয়ে গঠিত: S11: একটি পিছনের পৃষ্ঠ এবং একটি সামনের পৃষ্ঠের সাথে একটি ওয়েফার সরবরাহ করা এবং ওয়েফারের উপর একটি চাপ সংবেদনশীল ফিল্মের পুরুত্ব নির্ধারণ করা;S12: ওয়েফারের সামনের পৃষ্ঠে আয়ন ইমপ্লান্টেশন ব্যবহার করা হয়, পাইজোরেসিটিভ স্ট্রিপগুলি উচ্চ-তাপমাত্রার প্রসারণ প্রক্রিয়া দ্বারা তৈরি করা হয়, এবং যোগাযোগ অঞ্চলগুলি ভারীভাবে ডোপ করা হয়;S13: ওয়েফারের সামনের পৃষ্ঠে একটি প্রতিরক্ষামূলক স্তর জমা করা এবং গঠন করা;S14: চাপ সংবেদনশীল ফিল্ম গঠনের জন্য ওয়েফারের পিছনে একটি চাপ গভীর গহ্বর এচিং এবং গঠন করে।3. দাবি 1 অনুযায়ী চাপ সেন্সরের উত্পাদন পদ্ধতি, যেখানে ওয়েফারটি SOI।

1962 সালে, Tufte et al.প্রথমবারের মতো ছড়িয়ে থাকা সিলিকন পাইজোরেসিটিভ স্ট্রিপ এবং সিলিকন ফিল্ম স্ট্রাকচার সহ একটি পাইজোরেসিটিভ প্রেসার সেন্সর তৈরি করে এবং পাইজোরেসিটিভ প্রেসার সেন্সর নিয়ে গবেষণা শুরু করে।1960-এর দশকের শেষের দিকে এবং 1970-এর দশকের শুরুর দিকে, তিনটি প্রযুক্তির উপস্থিতি, যথা, সিলিকন অ্যানিসোট্রপিক এচিং প্রযুক্তি, আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রযুক্তি এবং অ্যানোডিক বন্ধন প্রযুক্তি, চাপ সেন্সরে ব্যাপক পরিবর্তন এনেছিল, যা চাপ সেন্সরের কর্মক্ষমতা উন্নত করতে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করেছিল। .1980 সাল থেকে, অ্যানিসোট্রপিক এচিং, লিথোগ্রাফি, ডিফিউশন ডোপিং, আয়ন ইমপ্লান্টেশন, বন্ধন এবং আবরণের মতো মাইক্রোমেশিনিং প্রযুক্তির আরও বিকাশের সাথে, চাপ সেন্সরের আকার ক্রমাগত হ্রাস করা হয়েছে, সংবেদনশীলতা উন্নত হয়েছে, এবং আউটপুট উচ্চ এবং কর্মক্ষমতা চমৎকার.একই সময়ে, নতুন মাইক্রোমেশিনিং প্রযুক্তির বিকাশ এবং প্রয়োগ চাপ সেন্সরের ফিল্ম বেধকে সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রিত করে তোলে।