পাসাট জ্বালানী সাধারণ রেল চাপ সেন্সর 06E906051K এর জন্য প্রযোজ্য

1। চাপ সেন্সর গঠনের জন্য একটি পদ্ধতি, সমন্বিত:

একটি অর্ধপরিবাহী সাবস্ট্রেট সরবরাহ করে, যেখানে প্রথম ইন্টারলেয়ার ডাইলেট্রিক স্তর, প্রথম ইন্টারলেয়ার ডাইলেট্রিক স্তর এবং একটি দ্বিতীয় ইন্টারলেয়ার ডাইলেট্রিক স্তর সেমিকন্ডাক্টর সাবস্ট্রেটে গঠিত হয়।

প্রথম ইন্টারলেয়ার ডাইলেট্রিক স্তরটিতে একটি নিম্ন ইলেক্ট্রোড প্লেট, প্রথম পারস্পরিক ইলেক্ট্রোড নিম্ন ইলেক্ট্রোড প্লেটের মতো একই স্তরে অবস্থিত এবং পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক পৃথক।

সংযোগ স্তর;

নিম্ন মেরু প্লেটের উপরে একটি কোরবানি স্তর গঠন;

প্রথম ইন্টারলেয়ার ডাইলেট্রিক স্তর, প্রথম আন্তঃসংযোগ স্তর এবং কোরবানির স্তরটিতে একটি উপরের ইলেক্ট্রোড প্লেট গঠন;

কোরবানি স্তর গঠনের পরে এবং উপরের প্লেট গঠনের আগে, প্রথম আন্তঃসংযোগ স্তরটিতে

একটি সংযোগ খাঁজ গঠন করা, এবং প্রথম আন্তঃসংযোগ স্তরটির সাথে বৈদ্যুতিকভাবে সংযোগ স্থাপনের জন্য উপরের প্লেট দিয়ে সংযোগ খাঁজটি পূরণ করা; বা,

উপরের ইলেক্ট্রোড প্লেট গঠনের পরে, সংযোগকারী খাঁজগুলি উপরের ইলেক্ট্রোড প্লেট এবং প্রথম আন্তঃসংযোগ স্তরতে গঠিত হয়, যা

উপরের ইলেক্ট্রোড প্লেট এবং সংযোগ খাঁজে প্রথম আন্তঃসংযোগ স্তর সংযুক্ত একটি পরিবাহী স্তর গঠন;

বৈদ্যুতিনভাবে উপরের প্লেট এবং প্রথম আন্তঃসংযোগ স্তরটি সংযুক্ত করার পরে, একটি গহ্বর গঠনের জন্য কোরবানি স্তরটি সরিয়ে।

2। দাবি 1 অনুসারে একটি চাপ সেন্সর গঠনের পদ্ধতি, যার মধ্যে প্রথম স্তরে

ইন্টারলেয়ার ডাইলেট্রিক লেয়ারে কোরবানি স্তর গঠনের পদ্ধতিটি নিম্নলিখিত পদক্ষেপগুলি নিয়ে গঠিত:

প্রথম ইন্টারলেয়ার ডাইলেট্রিক স্তরটিতে একটি কোরবানি উপাদান স্তর জমা করা;

কোরবানি স্তর গঠনের জন্য কোরবানির উপাদান স্তরকে প্যাটার্নিং করা।

3। দাবি 2 অনুযায়ী চাপ সেন্সর গঠনের পদ্ধতি, যেখানে ফোটোলিথোগ্রাফি এবং খোদাই করা ব্যবহার করা হয়।

কোরবানি উপাদান স্তরটি এচিং প্রক্রিয়া দ্বারা নকশা করা হয়।

4। দাবি 3 অনুসারে একটি চাপ সেন্সর গঠনের পদ্ধতি, যার মধ্যে কোরবানি স্তর

উপাদানটি নিরাকার কার্বন বা জার্মিয়াম।

5। দাবি 4 অনুসারে একটি চাপ সেন্সর গঠনের পদ্ধতি, যার মধ্যে কোরবানি স্তর

উপাদান নিরাকার কার্বন;

বলিদানকারী উপাদান স্তরটি এচিংয়ের প্রক্রিয়াতে ব্যবহৃত এচিং গ্যাসগুলির মধ্যে রয়েছে ও 2, সিও, এন 2 এবং এআর;

বলিদানকারী উপাদান স্তরটি এচিংয়ের প্রক্রিয়াটির পরামিতিগুলি হ'ল: ও 2 এর প্রবাহের পরিসীমা 18 এসসিসিএম ~ 22 এসসিসিএম, এবং সিওর প্রবাহের হার 10%।

প্রবাহের হার 90 এসসিসিএম থেকে 110 এসসিসিএম পর্যন্ত, এন 2 এর প্রবাহের হার 90 এসসিসিএম থেকে 110 এসসিসিএম এবং এআর এর প্রবাহের হার।

পরিসীমাটি 90 এসসিসিএম ~ 110 এসসিসিএম, চাপের পরিসরটি 90 এমটিওআর ~ 110 এমটিওআর এবং পক্ষপাত শক্তি হয়

540W ～ 660W。