Passat জ্বালানী সাধারণ রেল চাপ সেন্সর 06E906051K এর জন্য প্রযোজ্য

1. একটি চাপ সেন্সর গঠনের একটি পদ্ধতি, যার মধ্যে রয়েছে:

একটি সেমিকন্ডাক্টর সাবস্ট্রেট প্রদান করা, যেখানে একটি প্রথম ইন্টারলেয়ার ডাইলেকট্রিক স্তর, একটি প্রথম ইন্টারলেয়ার ডাইলেকট্রিক স্তর এবং একটি দ্বিতীয় ইন্টারলেয়ার ডাইলেকট্রিক স্তর সেমিকন্ডাক্টর সাবস্ট্রেটের উপর গঠিত হয়।

প্রথম ইন্টারলেয়ার ডাইলেকট্রিক স্তরে একটি নিম্ন ইলেক্ট্রোড প্লেট, একটি প্রথম মিউচুয়াল ইলেক্ট্রোড নীচের ইলেক্ট্রোড প্লেটের মতো একই স্তরে অবস্থিত এবং আলাদা করে।

সংযুক্ত স্তর;

নিম্ন মেরু প্লেটের উপরে একটি বলি স্তর গঠন;

প্রথম ইন্টারলেয়ার অস্তরক স্তর, প্রথম আন্তঃসংযোগ স্তর এবং বলি স্তরে একটি উপরের ইলেক্ট্রোড প্লেট গঠন;

বলি স্তর গঠনের পরে এবং উপরের প্লেট গঠনের আগে, প্রথম আন্তঃসংযোগ স্তরে

একটি সংযোগ খাঁজ তৈরি করা, এবং প্রথম আন্তঃসংযোগ স্তরের সাথে বৈদ্যুতিকভাবে সংযোগ করার জন্য উপরের প্লেটের সাথে সংযোগ খাঁজটি পূরণ করা; অথবা,

উপরের ইলেক্ট্রোড প্লেট গঠনের পরে, সংযোগকারী খাঁজগুলি উপরের ইলেক্ট্রোড প্লেটে এবং প্রথম আন্তঃসংযোগ স্তরে গঠিত হয়, যা

সংযোগ খাঁজে উপরের ইলেক্ট্রোড প্লেট এবং প্রথম আন্তঃসংযোগ স্তর সংযোগকারী একটি পরিবাহী স্তর গঠন;

বৈদ্যুতিকভাবে উপরের প্লেট এবং প্রথম আন্তঃসংযোগ স্তর সংযোগ করার পরে, একটি গহ্বর গঠন বলি স্তর অপসারণ।

2. দাবি 1 অনুযায়ী একটি চাপ সেন্সর গঠনের পদ্ধতি, যেখানে প্রথম স্তর

ইন্টারলেয়ার ডাইলেকট্রিক স্তরে বলি স্তর গঠনের পদ্ধতিতে নিম্নলিখিত পদক্ষেপগুলি রয়েছে:

প্রথম ইন্টারলেয়ার অস্তরক স্তরে একটি বলি উপাদান স্তর জমা করা;

একটি বলি স্তর গঠনের জন্য বলি উপাদান স্তর প্যাটার্নিং.

3. দাবি 2 অনুযায়ী চাপ সেন্সর গঠনের পদ্ধতি, যেখানে ফটোলিথোগ্রাফি এবং খোদাই ব্যবহার করা হয়।

বলির উপাদানের স্তরটি এচিং প্রক্রিয়া দ্বারা নকশাকৃত।

4. দাবি 3 অনুযায়ী একটি চাপ সেন্সর গঠনের পদ্ধতি, যেখানে বলি স্তর

উপাদান নিরাকার কার্বন বা জার্মেনিয়াম।

5. দাবি 4 অনুযায়ী একটি চাপ সেন্সর গঠনের পদ্ধতি, যেখানে বলি স্তর

উপাদান নিরাকার কার্বন;

বলি উপাদান স্তর খোদাই করার প্রক্রিয়াতে ব্যবহৃত এচিং গ্যাসগুলির মধ্যে রয়েছে O2, CO, N2 এবং Ar;

বলি উপাদান স্তর খোদাই করার প্রক্রিয়ার পরামিতিগুলি হল: O2 এর প্রবাহের পরিসর হল 18 SCCM ~ 22 SCCM, এবং CO এর প্রবাহের হার হল 10%।

প্রবাহের হার 90 SCCM থেকে 110 SCCM পর্যন্ত, N2-এর প্রবাহের হার 90 SCCM থেকে 110 SCCM পর্যন্ত, এবং Ar-এর প্রবাহের হার।

পরিসীমা হল 90 SCCM ~ 110 SCCM, চাপের পরিসর হল 90 mtor ~ 110 mtor, এবং পক্ষপাত শক্তি হল

540w～660w.