পাইজোরসিস্টিভ সেন্সর কাঠামো

এই সেন্সরে, প্রতিরোধক স্ট্রিপটি সিলিকন পাইজোরসিস্টিভ চিপ তৈরির জন্য ইন্টিগ্রেশন প্রক্রিয়া দ্বারা মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ডায়াফ্রামে সংহত করা হয় এবং এই চিপের পরিধি শেলটিতে স্থিরভাবে প্যাকেজ করা হয়, এবং ইলেক্ট্রোডের সীসাগুলি বেরিয়ে আসে। পাইজোরসিস্টিভ প্রেসার সেন্সর, যা সলিড-স্টেট প্রেসার সেন্সর হিসাবেও পরিচিত, আঠালো স্ট্রেন গেজ থেকে পৃথক, যা স্থিতিস্থাপক সংবেদনশীল উপাদানগুলির মাধ্যমে পরোক্ষভাবে বাহ্যিক শক্তি অনুভব করা দরকার, তবে সিলিকন ডায়াফ্রামের মাধ্যমে সরাসরি পরিমাপ করা চাপ অনুভব করে।

সিলিকন ডায়াফ্রামের এক দিক হ'ল একটি উচ্চ-চাপের গহ্বর যা পরিমাপ করা চাপের সাথে যোগাযোগ করে এবং অন্য দিকটি একটি নিম্নচাপের গহ্বরটি বায়ুমণ্ডলের সাথে যোগাযোগ করে। সাধারণত, সিলিকন ডায়াফ্রামটি স্থির পেরিফেরি সহ একটি বৃত্ত হিসাবে ডিজাইন করা হয়, এবং ব্যাসের অনুপাতটি বেধের সাথে প্রায় 20 ~ 60 হয়। চার পি অপরিষ্কার প্রতিরোধের স্ট্রিপগুলি স্থানীয়ভাবে বৃত্তাকার সিলিকন ডায়াফ্রামের উপর ছড়িয়ে পড়ে এবং একটি পূর্ণ সেতুর সাথে সংযুক্ত থাকে, যার মধ্যে দুটি ডাইমেটরাল স্ট্রেসের সাথে থাকে, যা টেনসিলেট জোনের সাথে রয়েছে।

এছাড়াও, স্কোয়ার সিলিকন ডায়াফ্রাম এবং সিলিকন কলাম সেন্সরও রয়েছে। সিলিকন সিলিন্ড্রিকাল সেন্সরটি সিলিকন সিলিন্ডারের একটি স্ফটিক বিমানের একটি নির্দিষ্ট দিকের প্রসারণ দ্বারা প্রতিরোধী স্ট্রিপগুলি দিয়ে তৈরি করা হয় এবং দুটি টেনসিল স্ট্রেস রেজিস্টিভ স্ট্রিপস এবং দুটি সংবেদনশীল স্ট্রেস রেজিস্টিভ স্ট্রিপগুলি একটি পূর্ণ সেতু গঠন করে।

পাইজোরসিস্টিভ সেন্সরটি সেমিকন্ডাক্টর উপাদানের পাইজোরসেস্টিভ প্রভাব অনুসারে অর্ধপরিবাহী উপাদানের সাবস্ট্রেটে বিচ্ছুরণ প্রতিরোধের দ্বারা তৈরি একটি ডিভাইস। এর স্তরটি সরাসরি একটি পরিমাপ সেন্সর হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে এবং প্রসারণ প্রতিরোধের একটি সেতুর আকারে স্তরটিতে সংযুক্ত থাকে।

যখন সাবস্ট্রেটটি বাহ্যিক শক্তি দ্বারা বিকৃত হয়, তখন প্রতিরোধের মানগুলি পরিবর্তিত হবে এবং সেতুটি সম্পর্কিত ভারসাম্যহীন আউটপুট তৈরি করবে। পাইজোরসিস্টিভ সেন্সর হিসাবে ব্যবহৃত সাবস্ট্রেটস (বা ডায়াফ্রাম) মূলত সিলিকন ওয়েফার এবং জার্মানিয়াম ওয়েফার। সংবেদনশীল উপকরণগুলি হিসাবে সিলিকন ওয়েফারগুলির তৈরি সিলিকন পাইজোরসিস্টিভ সেন্সরগুলি আরও বেশি মনোযোগ আকর্ষণ করেছে, বিশেষত চাপ এবং গতি পরিমাপের জন্য সলিড-স্টেট পাইজোরসিস্টিভ সেন্সরগুলি সর্বাধিক ব্যবহৃত হয়।