Piezoresistive সেন্সর গঠন

এই সেন্সরে, একটি সিলিকন পাইজোরেসিটিভ চিপ তৈরি করতে ইন্টিগ্রেশন প্রক্রিয়ার মাধ্যমে রোধের স্ট্রিপটি মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ডায়াফ্রামের উপর একীভূত করা হয় এবং এই চিপের পরিধিটি শেলের মধ্যে স্থিরভাবে প্যাকেজ করা হয় এবং ইলেক্ট্রোড লিডগুলিকে বের করে দেওয়া হয়।পাইজোরেসিটিভ প্রেসার সেন্সর, যা সলিড-স্টেট প্রেসার সেন্সর নামেও পরিচিত, আঠালো স্ট্রেন গেজ থেকে আলাদা, যা ইলাস্টিক সংবেদনশীল উপাদানের মাধ্যমে পরোক্ষভাবে বাহ্যিক বল অনুভব করতে হয়, কিন্তু সরাসরি সিলিকন ডায়াফ্রামের মাধ্যমে মাপা চাপ অনুভব করে।

সিলিকন ডায়াফ্রামের একপাশে একটি উচ্চ-চাপ গহ্বর যা পরিমাপ করা চাপের সাথে যোগাযোগ করে এবং অন্য পাশে একটি নিম্ন-চাপের গহ্বর যা বায়ুমণ্ডলের সাথে যোগাযোগ করে।সাধারণত, সিলিকন মধ্যচ্ছদা একটি নির্দিষ্ট পরিধি সহ একটি বৃত্ত হিসাবে ডিজাইন করা হয়, এবং ব্যাস এবং পুরুত্বের অনুপাত প্রায় 20 ~ 60। চারটি P অপবিত্রতা প্রতিরোধের স্ট্রিপগুলি বৃত্তাকার সিলিকন মধ্যচ্ছদাতে স্থানীয়ভাবে ছড়িয়ে পড়ে এবং একটি পূর্ণ সেতুতে সংযুক্ত থাকে, যার মধ্যে দুটি কম্প্রেসিভ স্ট্রেস জোনে রয়েছে এবং বাকি দুটি টেনসিল স্ট্রেস জোনে রয়েছে, যা ডায়াফ্রামের কেন্দ্রের সাপেক্ষে প্রতিসম।

এছাড়াও, বর্গাকার সিলিকন ডায়াফ্রাম এবং সিলিকন কলাম সেন্সর রয়েছে।সিলিকন নলাকার সেন্সরটিও সিলিকন সিলিন্ডারের একটি স্ফটিক সমতলের একটি নির্দিষ্ট দিকে প্রসারণের মাধ্যমে প্রতিরোধী স্ট্রিপ দিয়ে তৈরি এবং দুটি প্রসার্য স্ট্রেস প্রতিরোধী স্ট্রিপ এবং দুটি সংকোচকারী স্ট্রেস প্রতিরোধী স্ট্রিপ একটি পূর্ণ সেতু তৈরি করে।

পাইজোরেসিটিভ সেন্সর হল একটি ডিভাইস যা সেমিকন্ডাক্টর উপাদানের পাইজোরেসিটিভ প্রভাব অনুসারে সেমিকন্ডাক্টর উপাদানের সাবস্ট্রেটের উপর প্রসারণ প্রতিরোধের দ্বারা তৈরি করা হয়।এর সাবস্ট্রেটটি সরাসরি একটি পরিমাপ সেন্সর হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে, এবং ডিফিউশন রেজিস্ট্যান্স একটি সেতুর আকারে সাবস্ট্রেটে সংযুক্ত থাকে।

যখন বাহ্যিক শক্তি দ্বারা সাবস্ট্রেটটি বিকৃত হয়, তখন প্রতিরোধের মানগুলি পরিবর্তিত হবে এবং সেতুটি অনুরূপ ভারসাম্যহীন আউটপুট তৈরি করবে।পাইজোরেসিটিভ সেন্সর হিসেবে ব্যবহৃত সাবস্ট্রেট (বা ডায়াফ্রাম) মূলত সিলিকন ওয়েফার এবং জার্মেনিয়াম ওয়েফার।সিলিকন পাইজোরেসিটিভ সেন্সরগুলি সংবেদনশীল উপাদান হিসাবে সিলিকন ওয়েফারগুলি দিয়ে তৈরি আরও বেশি মনোযোগ আকর্ষণ করেছে, বিশেষ করে চাপ এবং গতি পরিমাপের জন্য সলিড-স্টেট পাইজোরেসিটিভ সেন্সরগুলি সর্বাধিক ব্যবহৃত হয়৷